下载用于可变的基底厚度的外部翻转器系统以及用于旋转基底的方法的技术资料

文档序号:16050920

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一种分发器包括框架、构台系统、分发单元、基底支撑组件、输运系统和翻转器系统,所述翻转器系统被结合到所述框架并且与所述输运系统连通。所述翻转器系统被安置在所述基底支撑组件外面并且被配置以使基底取向在第一位置和第二位置之间旋转,在所述第一位置中...
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