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用于太阳能电池制造的蚀刻工艺制造技术
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下载用于太阳能电池制造的蚀刻工艺的技术资料
文档序号:16049615
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本发明提供了一种制造太阳能电池的方法,所述方法可包括在硅基板上方形成第一掺杂剂区,以及在所述第一掺杂剂区上方形成氧化物区。在一个实施例中,所述氧化物区可保护所述第一掺杂剂区免于经历第一蚀刻工艺。在一个实施例中,可在所述硅基板上方形成第二掺杂...
该专利属于太阳能公司所有,仅供学习研究参考,未经过太阳能公司授权不得商用。
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