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薄膜晶体管阵列及其制造方法技术
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文档序号:16049596
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提供一种晶体管特性的均匀性较高的薄膜晶体管阵列。薄膜晶体管阵列,在基板上以矩阵状配置有多个薄膜晶体管,该薄膜晶体管包括形成在栅极绝缘层上的源电极及漏电极、以及形成在栅极绝缘层上且源电极与漏电极之间的半导体层,其中,半导体层跨越多个薄膜晶体管...
该专利属于凸版印刷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过凸版印刷株式会社授权不得商用。
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