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本申请的实施例公开了晶圆级芯片的封装方法及封装体,涉及半导体技术领域。所述方法包括:将晶圆片与支撑载体贴合;减小所述晶圆片的厚度;在所述晶圆片的背面蚀刻划片槽;在所述晶圆片的背面以及所述划片槽内粘附绝缘层;在所述绝缘层以及所述划片槽的底部添...该专利属于深圳市汇顶科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市汇顶科技股份有限公司授权不得商用。
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本申请的实施例公开了晶圆级芯片的封装方法及封装体,涉及半导体技术领域。所述方法包括:将晶圆片与支撑载体贴合;减小所述晶圆片的厚度;在所述晶圆片的背面蚀刻划片槽;在所述晶圆片的背面以及所述划片槽内粘附绝缘层;在所述绝缘层以及所述划片槽的底部添...