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提供有一种将限定了一个或多个电子装置元件的层的堆叠图案化的方法，包括：通过激光烧蚀在层的堆叠的最上面的部分中创建第一厚度剖面；以及刻蚀层的堆叠以将第一厚度剖面转化为下部水平处的第二厚度剖面；其中刻蚀减小了堆叠的所述最上面的部分的厚度和在堆叠...
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