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在所描述的示例中，通过防潮层(320)有效地减少来自环境中的水蒸气的水分子渗透，防潮层(320)包括通过原子层沉积(ALD)过程形成的氧化铝层。微电子器件(300)包括在电容器电介质(310)中具有有机聚合物材料(314)的电容器(306)...
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