下载用于贯穿离子阱结构的激光使用的基于MEMS的三维离子阱装置及其制造方法的技术资料

文档序号:16049126

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在本发明的实施例中,提供一种离子阱装置及其制造方法,所述离子阱装置的基板的上侧或者下侧包括第一RF电极轨、第二RF电极轨、一个以上的第一DC电极及一个以上的第二DC电极,其特征在于,所述基板在以所述离子阱装置的宽度方向为基准而一侧和另一侧相...
该专利属于SK电信有限公司;首尔大学校产学协力团所有,仅供学习研究参考,未经过SK电信有限公司;首尔大学校产学协力团授权不得商用。

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