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本发明提供一种可改良抗蚀图案的表面粗糙度的组合物与使用了该组合物的图案形成方法。一种组合物，其包含：特定的含氮化合物、含有磺酸基的阴离子性表面活性剂以及水；一种图案形成方法，其包含将该组合物适用于显影后的干燥了的抗蚀图案的工序。...
该专利属于AZ电子材料（卢森堡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AZ电子材料（卢森堡）有限公司授权不得商用。

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