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曝光装置制造方法及图纸
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文档序号:16048617
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本发明提供在对带状的工件实施曝光处理的情况下,无需复杂的工序就能够精度良好地实施曝光处理的曝光装置。曝光装置具备:工件输送机构(20),其输送带状的工件(1);曝光光源(30),其产生曝光光;光掩模(40),其具有在与工件(1)的宽度方向的...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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