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一种光栅耦合器及其制备方法。该光栅耦合器包括：依次排列的衬底层(0)、下限制层(1)、波导芯层(2)和上限制层(3)。该波导芯层(2)包括亚微米波导(4)、第一锥形波导(5)和波导阵列(6)。该波导阵列(6)包括至少两个波导群，该波导群包括...
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