一种光栅耦合器及制备方法技术

一种光栅耦合器及其制备方法。该光栅耦合器包括：依次排列的衬底层(0)、下限制层(1)、波导芯层(2)和上限制层(3)。该波导芯层(2)包括亚微米波导(4)、第一锥形波导(5)和波导阵列(6)。该波导阵列(6)包括至少两个波导群，该波导群包括至少一条波导链，该波导链包括至少两个宽度不同的波导，该波导链中的该波导相互连接。同一该波导群的该波导链中波导的宽度和排列结构相同，不同该波导群的该波导链中波导的宽度和/或排列结构不同。该波导阵列(6)中该波导链的一端与该第一锥形波导(5)宽的一端连接，该第一锥形波导(5)窄的一端与该亚微米波导(4)连接。该光栅耦合器能提高带宽。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，说明书已公开。

【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李明，涂鑫，付红岩，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44