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本发明提供一种光栅，其是用于使以真空紫外区的波长从激光装置输出的激光窄频带化的光栅，其可以包含光栅基板、形成在光栅基板上且表面具有槽状的第1铝金属膜以及通过ALD法形成在第1铝金属膜上的第1保护膜。...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。

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