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用于测量、表征和分析周期性结构的x射线方法技术
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下载用于测量、表征和分析周期性结构的x射线方法的技术资料
文档序号:16048256
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x射线照射的周期性空间图案用于收集关于周期性物体的信息。可以使用相干的或部分相干的x射线源与分束光栅的相互作用来创建具有周期性结构的Talbot干涉图案,以创建结构化照射。然后将要测量的具有周期性结构的物体放置到该结构化照射中,并且分析来自...
该专利属于斯格瑞公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯格瑞公司授权不得商用。
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