下载用于减少在管芯级激光剥离期间所受机械损伤的蓝宝石收集器的技术资料

文档序号:16045305

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本发明提供一种蓝宝石收集器(SC),包括一个或多个特征(结构特征及参数特征),以用于在管芯级激光剥离(LLO)期间捕获从半导体结构移除的管芯大小的蓝宝石芯片。这些特征经设计以增加每个蓝宝石芯片在其从该半导体结构释放之后立即由该蓝宝石收集器稳...
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