下载一种高压倒装LED芯片结构及其制造方法的技术资料

文档序号:16040491

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本发明提供一种高压倒装LED芯片结构及其制造方法,包括:沉积有GaN外延层的生长衬底;离子注入形成多个隔离区,从而使所述GaN外延层形成多个相互独立的芯片单元,之后进行mesa台阶刻蚀、形成透明电极传输层;形成DBR层;形成互连金属层;形成...
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