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一种高压倒装LED芯片结构及其制造方法技术
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文档序号:16040491
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本发明提供一种高压倒装LED芯片结构及其制造方法,包括:沉积有GaN外延层的生长衬底;离子注入形成多个隔离区,从而使所述GaN外延层形成多个相互独立的芯片单元,之后进行mesa台阶刻蚀、形成透明电极传输层;形成DBR层;形成互连金属层;形成...
该专利属于盐城东紫光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盐城东紫光电科技有限公司授权不得商用。
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