下载一种发光二极管芯片的制备方法的技术资料

文档序号:16040476

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本发明公开了一种发光二极管芯片的制备方法,属于半导体技术领域。包括:在衬底上生长外延层;沉积一层第一绝缘材料;在第一道光刻工艺形成的光刻胶的保护下刻蚀第一绝缘材料,形成电流阻挡层;去除光刻胶;沉积一层透明导电材料;在第二道光刻工艺形成的光刻...
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