下载半导体装置的技术资料

文档序号:16040439

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种半导体特性和肖特基特性优异的半导体装置。该半导体装置至少具备:含有具有刚玉结构的结晶性氧化物半导体作为主成分的半导体层,以及上述半导体层上的肖特基电极,形成上述肖特基电极时,通过使上述肖特基电极含有元素周期表第4族~第9族的金...
该专利属于FLOSFIA株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过FLOSFIA株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。