下载一种图像传感器的制备方法的技术资料

文档序号:16040365

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本发明提供了一种图像传感器的制备方法,包括:在衬底表面依次形成底部隔离层、第一层金属互连线、第一层隔离层和第一层隔离层中的第一层金属接触孔;再重复循环上述过程,直至形成N层隔离层以及相应层的金属互连线和金属接触孔;在第N层隔离层和第N层金属...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司;成都微光集电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路研发中心有限公司;成都微光集电科技有限公司授权不得商用。

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