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集成电路器件制造技术
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文档序号:16040346
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本公开涉及集成电路器件。一种集成电路器件包括:在衬底的有源区上的栅线;在栅线两侧于有源区中的一对源/漏区域;在所述对源/漏区域当中的至少一个源/漏区域上的接触插塞;以及在栅线和接触插塞之间的多层结构绝缘间隔物。多层结构绝缘间隔物可以包括:氧...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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