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本发明涉及使用连接的室自动更换消耗部件。群集工具组件包括真空传送模块，具有连接到真空传送模块的第一侧的处理模块。隔离阀具有第一侧和第二侧，隔离阀的第一侧耦合到处理模块的第二侧。更换站耦合到隔离阀的第二侧。更换站包括更换操作器和部件缓冲区。部...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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