下载一种外延缺陷的处理方法的技术资料

文档序号:16040207

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本发明公开了一种外延缺陷的处理方法,包括以下步骤:将所述外延片表面的外延缺陷的凸起部分采用物理方法破坏,形成凹陷;准备一临时衬底,在其上制备至少一层腐蚀截止层作为键合层;将所述外延片与临时衬底进行键合,使所述外延片表面的键合层与临时衬底表面...
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