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一种带自标定振动台的电容式加速度传感器制造技术
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下载一种带自标定振动台的电容式加速度传感器的技术资料
文档序号:16036224
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本发明涉及一种带自标定振动台的电容式加速度传感器。本发明把校准用振动台同传感器本身设计为一体,当传感器在现场工作前,可以实时的通过振动台对其敏感方向校准,以确认其敏感方向的工作性能,同时还设计了交叉轴驱动结构,实时测试得到其交叉轴特性,通过...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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