下载基板的异物检测方法的技术资料

文档序号:16035829

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为了检测基板,首先显示涂敷铅之前的基板的图像信息。接着,拍摄基板上的至少一个测量区域,由此获得所拍摄的测量区域的图像。然后,利用所获得的测量区域的图像来更新所显示的图像信息,并显示所更新的图像信息。并且,为了检测基板的异物,通过比较所获得的...
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