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本发明涉及一种离子注入制备电极的曲面焦平面探测器，所述探测器为曲面，其曲率半径不小于3mm，其厚度不超过50μm，且其电极层和热敏层均为氧化钛薄膜，平坦度较高，且能够适用大视场或超大视场，超大面阵列高分辨率成像；还涉及上述探测器的制备方法，...
该专利属于烟台睿创微纳技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烟台睿创微纳技术股份有限公司授权不得商用。

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