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光学测量装置制造方法及图纸
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下载光学测量装置的技术资料
文档序号:16034793
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本发明提供一种光学测量装置,通过提高光的利用效率,能够实现更高采样率。光学测量装置具有:光源,其产生具有多个波长成分的照射光;光学系统,其对来自光源的照射光产生轴向色差,并且接收来自至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象物的反射光;分光器...
该专利属于欧姆龙株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。
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