光学测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光学测量装置，通过提高光的利用效率，能够实现更高采样率。光学测量装置具有：光源，其产生具有多个波长成分的照射光；光学系统，其对来自光源的照射光产生轴向色差，并且接收来自至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象物的反射光；分光器，其将在光学系统接收的反射光分离为各个波长成分的光；检测器，其中与分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件。导光部和受光部构成为，在从光学系统向多个纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时，多个受光元件中入射该第一光的受光元件，与从光学系统向多个纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时，多个受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用。

【技术实现步骤摘要】
光学测量装置
本专利技术涉及光学测量装置，能够以白光共聚焦方式对测量对象物的表面形状等进行测量。
技术介绍
作为对测量对象物的表面形状等进行检查的设备，已知有白光共聚焦方式的光学测量装置。例如，在日本特开2012-208102号公报(专利文献1)中，公开了利用共聚焦光学系统以非接触方式对测量对象物的位移进行测量的共聚焦测量装置。在国际公开第2014/076649号手册(专利文献2)中，公开了在共同的测量头导向装置内互相接近地配置多个点，并利用不同的检测器同时对各个点进行测量，从而对测量对象物的表面形状进行测量的结构。在国际公开第02/02012号手册(专利文献3)中，公开了利用二维矩阵光电传感器对测量对象物进行三维测量的结构。专利文献1：日本特开2012-208102号公报专利文献2：国际公开第2014/076649号手册专利文献3：国际公开第02/02012号手册白光共聚焦方式由于在原理上从照射的光的波长成分中仅利用与距离对应的特定的波长成分，因此与使用单色激光的三角测距方式相比光的利用效率低。因此，例如，为更高速地对测量对象物进行检查而提高采样率时，则存在不能充分确保测量所需的光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学测量装置，其中，具有：光源，产生具有多个波长成分的照射光；光学系统，对来自所述光源的照射光产生轴向色差，并且接收来自测量对象物的反射光，该测量对象物的至少一部分配置在光轴的延长线上；受光部，包括分光器和检测器，所述分光器将在所述光学系统接收的反射光分离为各个波长成分，所述检测器中与所述分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件；导光部，包括将所述光学系统和所述受光部光学连接的多个纤芯；以及处理部，基于所述受光部的多个受光元件的各个检测值，计算出从所述光学系统到所述测量对象物的距离；所述导光部和所述受光部构成为，在从所述光学系统侧向多个所述纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时，多...

【技术特征摘要】
2015.12.03 JP 2015-2369651.一种光学测量装置，其中，具有：光源，产生具有多个波长成分的照射光；光学系统，对来自所述光源的照射光产生轴向色差，并且接收来自测量对象物的反射光，该测量对象物的至少一部分配置在光轴的延长线上；受光部，包括分光器和检测器，所述分光器将在所述光学系统接收的反射光分离为各个波长成分，所述检测器中与所述分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件；导光部，包括将所述光学系统和所述受光部光学连接的多个纤芯；以及处理部，基于所述受光部的多个受光元件的各个检测值，计算出从所述光学系统到所述测量对象物的距离；所述导光部和所述受光部构成为，在从所述光学系统侧向多个所述纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时，多个所述受光元件中入射该第一光的受光元件，与从所述光学系统侧向多个所述纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时，多个所述受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用。2.根据权利要求1所述的光学测量装置，其中，与所述受光部光学连接的所述导光部配置成，该导光部所包含的多个所述纤芯的排列方向和与多个所述受光元件的排列方向正交的方向具有对应关系。3.根据权利要求1或2所述的光学测量装置，其中，所述处理部一并获取从多个所述纤芯分别照射的多个光向单一受光元件入射而生成的检测值。4.一种光学测量装置，其中，具有：光源，产生具有多个波长成分的照射光；光学系统，对来自所述光源的照射光产生轴向色差，并且接收来自测量对象物的反射光，该测量对象物的至少一部分配置在光轴的延长线上；受光部，包括分光器和检测器，所述分光器将在所述光学系统接收的反射光分离为各个波长成分，在所述检测器的检测面上二维配置有多个受光元件；导光部，包括将所述光学系统和所述受光部光学连接的多个纤芯；以及处理部，计算出从所述光...

【专利技术属性】
技术研发人员：森野久康，高岛润，的场贤一，早川雅之，藤原直树，丸川真理子，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP