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一种光频梳参考的波长扫描三维形貌测量系统，包括光频梳参考可调谐光源模块和菲索干涉模块，光频梳参考可调谐光源模块包括：飞秒光学频率梳、波长计、可调谐激光器和拍频探测及锁定反馈模块，飞秒光学频率梳提供可以溯源至原子钟的光学频率参考，实现一套波长...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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