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本申请提供了一种减压干燥腔及真空减压干燥设备,用以提高像素内成膜的均一性,本申请提供的一种减压干燥腔,包括:腔室、设置于所述腔室内的承载部件和设置于所述腔室上的抽气孔,还包括设置于所述腔室内的整流装置;所述整流装置包括:面向所述承载部件承载...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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