下载用于向电镀槽供给电镀液的装置和方法、电镀系统、粉体容器以及电镀方法的技术资料

文档序号:16030770

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本发明提供一种用于向电镀槽供给电镀液的装置和方法、电镀系统、粉体容器以及电镀方法。改良后的该装置用于将氧化铜粉体向电镀液添加,将该电镀液向电镀槽供给。用于向电镀槽(2)供给使至少含有铜的粉体溶解后的电镀液的装置(20)具备:料斗(27),其...
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