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本申请提供一种电铸掩膜板的脱模方法,包括:提供基材,基材包括透明导电基板和位于透明导电基板的表面且具有开口的光阻剂层;通过电铸工艺在开口内形成电铸层;采用激光照射透明导电基板背离电铸层的表面,以使电铸层与基材初步分离;通过脱模工艺,将电铸层...该专利属于上海天马有机发光显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海天马有机发光显示技术有限公司授权不得商用。
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本申请提供一种电铸掩膜板的脱模方法,包括:提供基材,基材包括透明导电基板和位于透明导电基板的表面且具有开口的光阻剂层;通过电铸工艺在开口内形成电铸层;采用激光照射透明导电基板背离电铸层的表面,以使电铸层与基材初步分离;通过脱模工艺,将电铸层...