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本发明公开了一种TiCN/CrCN纳米多层膜及其制备方法，属于薄膜材料领域。本发明采用多弧离子镀技术，在硬质合金基体上首先沉积金属过渡层Ti和陶瓷过渡层TiN,最后交替沉积TiCN与CrCN薄膜，在调制周期为：TiCN为15‑20nm，Cr...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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