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本实用新型涉及溅镀旋转靶磁棒总成，包括磁座本体以及强磁，强磁粘附于磁座本体外，强磁由S极强磁和N极强磁间隔设置，相邻的S极强磁和N极强磁之间间隔一定距离。本实用新型的优点是：通过实际的上机测试，将S极强磁和N极强磁之间距离调整至22mm时，...
该专利属于苏州凡特真空溅镀科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州凡特真空溅镀科技有限公司授权不得商用。

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