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本实用新型一种PVD设备进气装置，包括进气管路组件和设置于PVD镀炉内的布气管路组件；所述的进气管路组件包括若干进气管和一根混合气管，所述的若干进气管的出气口一并连接于所述的混合气管的进气口；所述的混合气管的出气口连接所述的布气管路组件的进...
该专利属于浙江尚越新能源开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江尚越新能源开发有限公司授权不得商用。

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