下载一种基板传送机构的技术资料

文档序号:16012944

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本实用新型公开了一种基板传送机构,包括底板、固定侧板、移动侧板、丝杆、搬入传感器、搬出传感器、停止传感器、传送马达、驱动轴、皮带、停止挡销、支撑台面和伺服马达;固定侧板固定在底板一侧,底板上对应固定侧板的另一侧固定有滑轨,移动侧板可滑动的设...
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