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本实用新型公开了一种带有透明真空吸盘的倒置曝光设备，属于直写曝光机技术领域。本实用新型的带有透明真空吸盘的倒置曝光设备，包括支撑结构、曝光装置、对准装置、载样装置和控制装置；所述支撑结构下部为一箱体结构，曝光装置和控制装置位于所述箱体结构内...
该专利属于上海誉刻智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海誉刻智能装备有限公司授权不得商用。

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