下载基于超磁致伸缩与石英摆线复合冷却机理的隔微振装置的技术资料

文档序号:15997536

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本发明基于超磁致伸缩与石英摆线复合冷却机理的隔微振装置属于隔微振技术领域;该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成;第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成,第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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