下载集成的光声气体传感器模块的技术资料

文档序号:15980504

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光声气体传感器包括:衬底;由所述衬底支撑的光发射器单元,所述光发射器单元包括光发射器,所述光发射器被配置用来发射具有预定的重复频率和波长的光脉冲的光束,所述预定的重复频率和波长相应于待被感测的气体的吸收带;以及由所述衬底支撑的检测器单元,所...
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