集成的光声气体传感器模块制造技术
【技术实现步骤摘要】
集成的光声气体传感器模块
本公开涉及一种光声气体传感器、一种光声气体传感器模块以及一种用于制造光声气体传感器的方法。
技术介绍
在过去，已经开发了许多类型的气体检测装置，以便检测大气或环境是否包含潜在有害或危险的成分，并且如果可能的话，向人提供其警告。气体检测器正确起作用在许多应用中都非常重要，特别是当这些检测器用于确保工作人员的安全时。除此之外，随着许多设备和仪器的尺寸不断变小，气体检测器的空间消耗也变得越来越重要。这种小型化的总体趋势产生了这种需要：开发可容易地并入现有的设备或仪器中的更加紧凑的气体传感器。
技术实现思路
根据本公开的第一方面，一种光声气体传感器包括：衬底；由所述衬底支撑的光发射器单元，所述光发射器单元包括光发射器，所述光发射器被配置用来发射具有预定的重复频率和波长的光脉冲的光束，所述预定的重复频率和波长相应于待被感测的气体的吸收带；以及由所述衬底支撑的检测器单元，所述检测器单元包括微音器，其中，所述光脉冲的光束穿过旨在容纳所述气体的区域，所述微音器能够接收以所述重复频率振荡的信号。根据本公开的第二方面，一种光声气体传感器模块包括：衬底；光发射器，...
【技术保护点】
一种光声气体传感器，包括：衬底；由所述衬底支撑的光发射器单元，所述光发射器单元包括光发射器，所述光发射器被配置用来发射具有预定的重复频率和波长的光脉冲的光束，所述预定的重复频率和波长相应于待被感测的气体的吸收带；以及由所述衬底支撑的检测器单元，所述检测器单元包括微音器；其中，所述光脉冲的光束穿过旨在容纳所述气体的区域，所述微音器能够接收以所述重复频率振荡的信号。
【技术特征摘要】
2016.01.22 DE 102016101148.7;2016.03.01 DE 10201611.一种光声气体传感器，包括：衬底；由所述衬底支撑的光发射器单元，所述光发射器单元包括光发射器，所述光发射器被配置用来发射具有预定的重复频率和波长的光脉冲的光束，所述预定的重复频率和波长相应于待被感测的气体的吸收带；以及由所述衬底支撑的检测器单元，所述检测器单元包括微音器；其中，所述光脉冲的光束穿过旨在容纳所述气体的区域，所述微音器能够接收以所述重复频率振荡的信号。2.根据权利要求1所述的光声气体传感器，其中，所述衬底包括半导体衬底、硅基衬底、玻璃衬底以及陶瓷衬底中的一种或一种以上。3.根据权利要求1或2所述的光声气体传感器，其中，所述衬底包括半导体衬底，尤其是硅基衬底，并且所述光发射器和所述微音器中的一个或一个以上被集成在所述半导体衬底中。4.根据前述权利要求中任一项所述的光声气体传感器，其中，所述衬底包括半导体衬底，尤其是硅基衬底，并且所述光发射器和所述微音器中的一个或一个以上至少部分地与所述半导体衬底邻接。5.根据权利要求3或4所述的光声气体传感器，其中，所述衬底包括集成在所述衬底中的电子装置或电子电路。6.根据权利要求1或2所述的光声气体传感器，其中，所述光发射器单元和所述检测器单元中的一个或一个以上由附接至所述衬底的预制的模块组成。7.根据前述权利要求中任一项所述的光声气体传感器，还包括：盖构件，所述盖构件设置在所述衬底之上，并且被配置用来限定旨在容纳气体的所述区域。8.根据权利要求7所述的光声气体传感器，还包括：参考气体；以及所述检测器单元包括检测器单元室；其中，所述衬底和所述盖构件还被配置用来限定所述检测器单元室，所述参考气体被包围在所述检测器单元室内，所述参考气体与所述待被感测的气体属于同一种类。9.根据权利要求7或8所述的光声气体传感器，其中，所述光发射器单元包括光发射器单元室；其中，所述衬底和所述盖构件还被配置用来限定所述光发射器单元室。10.根据权利要求7至9中任一项所述的光声气体传感器，其中，所述盖构件被配置用来使由所述光发射器单元发射的所述光脉冲的光束朝邻近所述检测器单元的区域的方向偏转。11.根据权利要求7至10中任一项所述的光声气体传感器，其中，所述盖构件包括位于环境与旨在容纳气体的所述区域之间的开口。12.根据权利要求7至11中任一项所述的光声气体传感器，其中，所述盖构件由半导体材料、硅基材料、玻璃材料以及陶瓷材料中的一种或一种以上组成。13.根据前述权利要求中任一项所述的光声气体传感器，还包括：设置在所述衬底之下的底部构件，其中，所述底部构件由半导体材料、硅基材料、玻璃材料以及陶瓷材料中的一种或一种以上组成。14.一种光声气体传感器模块，包括：...
【专利技术属性】
技术研发人员：K·埃利安，S·科尔布，T·米勒，R·M·沙勒，H·托伊斯，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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