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光编码器制造技术
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文档序号:15980119
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本发明提供了一种光编码器,包括照明源、沿测量轴线方向延伸的标尺光栅、光学部分、莫尔光栅和检测器部分。光学部分包括用于来自标尺光栅的标尺光的空间滤波的孔径部分。莫尔光栅构造成接收空间滤波标尺光,并朝向检测器部分输出空间调制条纹图案。光学部分输...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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