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本发明涉及到一种泵，其包括布置于泵的泵体(120，170)处的压电薄膜传感器；以及涉及到一种用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，其中所述方法特别是包括提供压电陶瓷层...该专利属于弗劳恩霍夫应用研究促进协会所有，仅供学习研究参考，未经过弗劳恩霍夫应用研究促进协会授权不得商用。
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本发明涉及到一种泵，其包括布置于泵的泵体(120，170)处的压电薄膜传感器；以及涉及到一种用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，其中所述方法特别是包括提供压电陶瓷层...