包括多边形压电薄膜传感器的泵制造技术
【技术实现步骤摘要】
包括多边形压电薄膜传感器的泵
本专利技术涉及一种用于生产泵的方法，其中压电薄膜传感器被安装到泵体，其中所述方法包括权利要求1的特征，并且这样的泵包括权利要求12的特征。
技术介绍
泵，且特别是所谓的微泵，可由不同材料(例如硅、金属或塑料)生产。硅和部分地金属微泵具有微型化的很大可能性，特别是因为可由精确生产方法来产生具有很小闭死容积的泵室从而使得尽管冲程容积很小，仍可实现足够大的压缩比。压电薄膜传感器在本文中是最普遍的驱动元件。它们优选地使用通过当固化粘合剂时施加高电压的特定方法而被偏压。这样的方法是从WO2011/107162A1已知的。本文中所处理的泵芯片的芯片大小是7×7mm2。所述微泵包括方形泵室。泵薄膜，也包括方形压电元件，被布置于此方形泵室上方。包括所述方形压电元件的泵薄膜沿着所述芯片边缘被贴合到下方的泵体。因而，用于贴合所需的芯片边缘的最小值是300μm或更多。通常有利地出于下列原因而力求实现泵的微型化：·较小的泵芯片需要较少的构造空间(其中7×7mm2已经是对于许多应用而言足够小的)；·较小的薄膜尺寸意思是较小的冲程容积，由此传输较小容积部分；·微...
【技术保护点】
用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，所述方法包括：提供包括泵室(102)和泵体(120，170)的泵(100，200，400，500)，其中所述泵室(102)的外圆周与所述泵体(120，170)的外圆周间隔开距离BP，其中所述距离BP在最小位置处至多为300μm；提供压电陶瓷层(51)；从所述压电陶瓷层(51)划切至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括具有至少六个拐角部的正多边形形状；和通过将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(11...
【技术特征摘要】
2016.02.04 DE 102016201718.71.用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，所述方法包括：提供包括泵室(102)和泵体(120，170)的泵(100，200，400，500)，其中所述泵室(102)的外圆周与所述泵体(120，170)的外圆周间隔开距离BP，其中所述距离BP在最小位置处至多为300μm；提供压电陶瓷层(51)；从所述压电陶瓷层(51)划切至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括具有至少六个拐角部的正多边形形状；和通过将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述距离BP少于200μm，或少于100μm。3.根据权利要求1所述的方法，其中所提供的所述泵(100，200，400，500)包括圆形泵室。4.根据权利要求1所述的方法，其中将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)的步骤是在将所述泵薄膜(110)安装到所述泵体(120，170)的步骤之后执行的。5.根据权利要求1所述的方法，其中将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)的步骤是在将所述泵薄膜(110)安装到所述泵体(120，170)的步骤之前执行的。6.根据权利要求1所述的方法，其中执行从所述压电陶瓷层(51)划切所述至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括偶数个多边形拐角部。7.根据权利要求1所述的方法，其中执行从所述压电陶瓷层(51)划切所述至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括至少八个拐角部。8.根据权利要求1所述的方法，其中，当划切所述压电元件(53，83，210)时，所述压电元件(53，83，210)沿限定的锯切图案(52，80)以笔直的切口从所述压电陶瓷层(51)被锯切。9.根据权利要求1所述的方...
【专利技术属性】
技术研发人员：马丁·里希特，库格尔·约瑟，克劳斯·海因里希，瓦尔特劳德·希尔，马丁·瓦克勒，
申请(专利权)人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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