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本发明涉及一种高阻膜的镀膜装置，该高阻膜的镀膜装置包括进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射室、第二过渡室、第二缓冲室、出片室、抽真空组件、冷阱组件、阴极组件和加热组件，抽真空组件能够对进片室、第一缓冲室、第一过渡室、溅射室、第二过渡室、第二...
该专利属于江西沃格光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西沃格光电股份有限公司授权不得商用。

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