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本发明公开了一种基于光学反馈的平面气浮工作台，包括下面板、上面板、用于驱动上面板的电磁式驱动单元、用于悬浮上面板的气浮单元、用于定位的红外传感器组、以及用于引导和定位上面板运动的控制单元；本发明首先通过气浮轴承在上面板底部产生气体刚膜，使上...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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