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晶片加工体以及晶片加工方法技术
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文档序号:15961570
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本发明提供一种晶片加工体,其材料选择范围广,将加工后的晶片分离、取出的步骤简单,能满足各种工序上的要求,并可提高薄型晶片的生产率。为此,提供一种在支撑体上积层有暂时粘合材料层,在所述暂时粘合材料层上积层有表面具有电路面且需加工背面的晶片加工...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
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