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一种用于太阳能电池的离子注入的装置和方法。本公开提供了提高的产量，并且修复或消除了SPER退火步骤后的缺陷。利用连续高剂量的注入，衬底被连续注入，造成有效的缺陷累积(即非晶化)，同时可抑制动态的自退火。...
该专利属于因特瓦克公司所有，仅供学习研究参考，未经过因特瓦克公司授权不得商用。

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