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一种晶圆边缘量测模组，包括：至少一线性扫描摄影机，架设在晶圆边缘的预定处；至少一凸透镜组，位于线性扫描摄影机的前方，使线性扫描摄影机透过凸透镜组后，再对晶圆边缘的中端边缘进行线性扫描；至少一反射镜组，接近晶圆边缘，且其由一第一及第二反射镜所...
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