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碳化硅前体及其用途制造技术
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文档序号:1594967
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本发明提供一种包括共聚物的硅组合物。所述共聚物具有化学式H-[SiH↓[2]CH↓[2]]↓[xn][Si(R↓[1])HCH↓[2]]↓[yn][SiH(R↓[2])CH↓[2]]↓[zn]-H,其中R↓[1]为甲基、苯基、甲氧基、乙氧基...
该专利属于星火系统公司所有,仅供学习研究参考,未经过星火系统公司授权不得商用。
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