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本发明提供一种显影工艺中的玻璃基板的水洗装置及方法，其中所述装置包括水洗腔体，所述水洗腔体的内部上方设置有多个水洗喷嘴；托盘平台，所述托盘平台用于承载待水洗的玻璃基板并对玻璃基板进行限位；以及摆动机构，所述摆动机构设置于所述水洗腔体的内部并...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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