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本实用新型涉及材料制备设备领域，具体而言，涉及一种超高真空催化装置以及团簇沉积设备。一种超高真空催化装置包括用于传递团簇的超高真空传样装置、用于气相催化的催化装置以及用于检测催化产物的四极质谱仪。超高真空传样装置的出口端与催化装置的进口端连...
该专利属于盐城工学院所有，仅供学习研究参考，未经过盐城工学院授权不得商用。

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