下载用于对壁中开口进行真空密封的密封装置的技术资料

文档序号:15934429

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密封装置包含有密封机构和杆,杆从密封装置的壳体中伸出,并在壳体外部带动该密封机构,并与承载件相刚性连接,密封装置还包含有传输单元,其可以由驱动装置在密封机构处于打开位置时的起始位置、密封机构处于中间位置时的中部位置、以及密封机构处于关闭位置...
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